第69章 山巍[01] 13.5nm工艺制程。（5 / 7）

思：“您喊我?名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来?。”

程院长摆摆手笑着拒绝：“我?这?辈子扛过不少科学?大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说?光源系统主要是你一手策划完成，我?只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”

行吧。盛明安点点头，示意身?后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说?：“开始验收。准备——”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定?装载完毕。”

“电源确定?。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情?。

“启动二氧化碳脉冲激光器！”

话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外?扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来?越盛、越来?越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技